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技术参数:
u MAX大测量长度: 25mm
u 直线度测量精度: 0.4μm
u 滤波器: 高斯(Gaussian)滤波器(ISO11562:1996),RC滤波器
u 截止波长: 0.25,0.8,2.5
u 测量重复性: 4%
u 相对示值误差: ±7%
u 测量长度: λc ╳3、4、5、6、7(1.0-17.5mm)
u 测量范围: 640μm
u 分辨率 : 0.001μm
u 测量速度: 0.1mm/s,0.32mm/s,0.5mm/s
u 返回速度: 1mm/s(自动)
u 测量方式:传感器移动式
u 主机重量:约200Kg
u 主机尺寸:长(1600mm)х宽(700mm)х高 (1400mm)