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技术参数：
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评定参数 |
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评定参数 |
Ra、Rz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2 |
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测量范围 |
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Z轴 |
800μm |
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X轴 |
50mm |
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直线度精度 |
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直线度精度 |
0.4μm |
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分辨率（Z轴） |
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分辨率（Z轴） |
0.001μm |
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采样数/分解能 |
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采样数/分解能 |
9600点/16bit |
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滤波器 |
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滤波器 |
高斯(Gaussian)滤波器（ISO11562:1996），2RC滤波器 |
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取样长度 |
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取样长度 |
λc ╳3、4、5、6、7（1.0-17.5mm） |
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截止波长 |
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截止波长 |
0.25,0.8,2.5 |
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测量速度 |
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测量速度 |
0.1mm/s，0.32mm/s，0.5mm/s |
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返回速度 |
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返回速度 |
（自动） 1mm/s |
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示值误差 |
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示值误差 |
±5% |
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示值稳定性 |
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示值稳定性 |
3% |
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测量重复性 |
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测量重复性 |
3% |
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图形放大倍率 |
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图形放大倍率 |
10-500000自动调整 |
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传感器 |
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传感器 |
针尖 R=2μm钻石（测量力1mN） |
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R=5μm钻石(测量力4mN） |
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