项目

DMC95A

测量范围

Z 轴

（垂直）

160μm

X 轴

（水平）

17.5mm

分辨率

Z 轴

（垂直）

0．01μm/±20μm

0．02μm/±40μm

0．04μm/±80μm

测量项目

参数

Ra    Rz==Ry(JIS)      Rq    Rt==Rmax

Rp    Rv    R3z  R3y  Rz(JIS)

Rs     Rsk   Rku  Rsm Rmr

标准

ISO,ANSI,DIN,JIS

图形

支承率曲线，

滤波器

RC,PC-RC,Gauss,D-P

取样长度(lr)

0.25,0.8,2.5mm

评定长度（ln）

Ln= lr×n n=1~5

传感器

测量原理

位移式差动电感

触针

天然金刚石，90 锥角，5μm 针尖半径

测力

<4mN

导头

硬质合金，滑行方向半径 40mm

滑行速度

lr=0.25,    Vt=0.135mm/s

lr=0.8,      Vt=0. 5mm/s

lr=2. 5,     Vt=1mm/s

返回         Vt=1mm/s

示值误差

不大于±10%

示值变动性

不大于 6%

电源

内置锂离子充电电池，用 DC5V,800mA 充电器充电

外形尺寸

141×55×40mm

重量

约 400g

工作环境

温度：- 20℃ ~      40℃；湿度：< 90% RH

储存运输环境

温度：- 40℃ ~       60℃；湿度：< 90% RH