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产品信息
白光干涉仪/光学3D表面轮廓仪
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产品详情
产品名称：光学3D表面轮廓仪
- 光学Zoom：1×，（0.75×，0.5×可选）
- 影像系统：1024×1024
- 干涉物镜：2.5×，5×，10×，20×，50×
- XY平台移动范围：140×110mm
- 控制方式：电动
- Z轴行程：100mm
- Z向扫描范围：10mm
- Z向扫描速度：>45μm/s
- Z向分辨率：0.1nm
- 可测样品反射率：0.05%-100%
- 水平调整：±5°，手动
- 粗糙度RMS重复性：0.005nm
- 台阶高测量：准确度＜0.7%，重复性＜0.1% 1σ
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